Vergabemarktplatz Brandenburg
Projekt-URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPCenter/public/company/projectForwarding.do?pid=CXP9YHLHFP2
Veröffentlichungsdatum: 2026-02-18
Auftraggeber / Ausschreibende Stelle: IHP GmbH
Kurzbezeichnung: Optimierung bzw. Weiterentwicklung einer bestehenden Photolackrezeptur für eine SiGe-BiCMOS-Fertigungslinie
Angebots-/Teilnahmefrist: nv
Typ: UVgO Beabsichtigte Ausschreibung
Vergabeplattform / Veröffentlicher: IHP GmbH
Ausschreibungs-ID: CXP9YHLHFP2
Auftragsgegenstand:
Gegenstand der Leistung ist die Optimierung und Weiterentwicklung einer bestehenden Photolack-Rezeptur für die Integration in eine SiGe-BiCMOS-Fertigungslinie.Die Dienstleistung umfasst insbesondere:- Anpassung der Rezeptur in Abstimmung mit dem Hersteller unter Berücksichtigung der bestehenden Prozessumgebung und des eingesetzten 2,38 % TMAH-Developers.- Sicherstellung der Prozesskompatibilität mit der geplanten E-BEAM-Belichtungsanlage.- Durchführung der erforderlichen Tests und Analysen zu...