evergabe-Online 848779 – Inspektionsmikroskop

Inspektionsmikroskop

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Field Value
Last Updated March 31, 2026, 05:34 (UTC)
Created March 29, 2026, 21:18 (UTC)
bindefrist 13.05.2026
ca_email vergabestelle@uni-jena.de
ca_name Friedrich-Schiller-Universität Jena
cpv_main 38000000-5
eingang_angebote 15.04.2026 10:00
erfuellungsort Friedrich-Schiller-Universität Jena, Institut Angewandte Physik, Albert-Einstein-Str. 6, 07745 Jena
evergabe_id 848779
leistung_ascii Die Friedrich-Schiller-Universität Jena möchte zur Inspektion von Lack- und Wellenleiterstrukturen auf photonischen integrierten Schaltkreisen (PIC) in Lithiumniobat auf Siliziumsubstraten ein (1) Lichtmikroskop beschaffen. Das Mikroskop soll für die schnelle Inspektion zwischen Prozessschritten durch wechselnde Nutzer optimiert sein und die Messung charakteristischer Längen sowie Prüfung typischer Fehlerbilder (Partikel, Lack- und Schichtfehler) ermöglichen. Die technischen Leistungsparameter gem. Anlage 2 sind mindestens zu erfüllen.
notice_number 848779
reference_number N-ÖA/2026-69