TED 742150-2026 Atomic Layer Deposition (ALD) System

Das Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften (WMI) wird ein Atomic Layer Deposition (ALD)-System zur Herstellung integrierter Quantenschaltkreise erwerben. Das System sollte in der Lage sein, dreidimensionale Strukturen wie zum Beispiel TSVs (Through-Silicium Vias) mit hohem Aspektverhältnis (durch ALD-Wachstum) mit einem hochwertigen supraleitenden Film konform zu beschichten.

Publikationsnummer: 742150-2026 Veröffentlicht: 2026-10-27 Auftraggeber: Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften, Garching

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Zusätzliche Informationen

Feld	Wert
Zuletzt aktualisiert	Oktober 29, 2026, 13:10 (UTC)
Erstellt	Oktober 29, 2026, 13:10 (UTC)
buyer_city	Garching
buyer_country	DEU
buyer_name	Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
contract_type	goods
cpv_codes	38000000
cpv_main	38000000
document_type	can-standard
language	DEU
notice_title	Atomic Layer Deposition (ALD) System
notice_version	1
nuts	DEA22
nuts_buyer	DE21H
nuts_performance	DE21H
nuts_performance_main	DE21H
nuts_performance_nuts1	DE2
nuts_performance_nuts2	DE21
procedure_id	0973396e-d271-431d-a89a-ae3caf02fc94
procedure_type	open
publication_date	2026-10-27
publication_number	742150-2026