TED 489803-2026 maskenloses UV-Direktlithographie-System

Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender Strukturen sowie konturtreue Linienbelichtungen auf unterschiedlichsten Substraten zu ermöglichen. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2

Publikationsnummer: 489803-2026 Veröffentlicht: 2026-07-15 Auftraggeber: Friedrich-Schiller-Universität Jena, Jena Geschätzter Wert: 190785.0 EUR

Daten und Ressourcen

Zusätzliche Informationen

Feld Wert
Zuletzt aktualisiert August 16, 2026, 00:26 (UTC)
Erstellt August 16, 2026, 00:26 (UTC)
buyer_city Jena
buyer_country DEU
buyer_name Friedrich-Schiller-Universität Jena
contract_type goods
cpv_codes 38000000
cpv_main 38000000
document_type can-standard
estimated_value 190785.0
estimated_value_currency EUR
language DEU
notice_title maskenloses UV-Direktlithographie-System
notice_version 1
nuts DEA22
procedure_id e09a1bea-a718-4524-ac68-f2bb8f03098c
procedure_type open
publication_date 2026-07-15
publication_number 489803-2026