TED 480514-2026 Dual Beam

Leistungsgenstand ist eine Feinstrahlimplantationsanlage zur deterministischen Implantation einzelner Atomen und Fehlstellen in Festkörpern zur Herstellung von Quantensystemen mit einer lateralen Auflösung von unter 5 nm in allen 3 Dimensionen.

Publikationsnummer: 480514-2026 Veröffentlicht: 2026-07-13 Auftraggeber: Universität Leipzig, Leipzig Geschätzter Wert: -1.0 EUR

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Zuletzt aktualisiert August 15, 2026, 19:38 (UTC)
Erstellt August 15, 2026, 19:37 (UTC)
buyer_city Leipzig
buyer_country DEU
buyer_name Universität Leipzig
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cpv_codes 38000000
cpv_main 38000000
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language DEU
notice_title Dual Beam
notice_version 1
nuts DEA22
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publication_date 2026-07-13
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