16 false false https://vergabe.fraunhofer.de/ ORG-7001 Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Hansastraße 27c München 80686 DE212 DEU DE 129515865 Einkauf Betrieb und Infrastruktur +49891205-0 einkauf@zv.fraunhofer.de ORG-7004 Vergabekammern des Bundes Vergabekammern des Bundes Kaiser-Friedrich-Straße 16 Bonn 53113 DEA22 DEU t:022894990 +49 228 9499-0 vk@bundeskartellamt.bund.de https://www.fraunhofer.de ORG-7005 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Hansastraße 27c München 80686 DE212 DEU DE-129515865 +49 89 1205-0 einkauf@zv.fraunhofer.de ORG-7006Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)Bonn53119DEA22DEU0204:994-DOEVD-83+49228996100noreply.esender_hub@bescha.bund.de 00534141-2026147/20262026-08-03+02:00 2.3 eforms-sdk-1.13 eforms-sdk-1.13 dd34a80c-20d5-4122-816d-7f4d1dcb4e18 4fc084d2-9890-4b66-8ba3-c7b0414f31dc 2026-07-31+02:00 12:29:52+02:00 01 2026-07-31+02:00 32014L0024 cn-standard DEU ENG https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ pub-undert gen-pub ORG-7001 ted-esenORG-7006 vgv epo-notice epo-procurement-document epo-sub-espd exg-sitn-other exg-crim-corrpt exg-crim-part exg-mis-distortion exg-mis-bre-env-law exg-crim-laund exg-crim-fraud exg-crim-traffick exg-sitn-insolvency exg-mis-bre-lab-law exg-sitn-liq-admin exg-mis-misrepresent exg-mis-partic-confl exg-mis-prep-confl exg-mis-misconduct exg-mis-sanction exg-mis-bre-soc-law exg-pmt-bre-ssc exg-sitn-as-susp exg-pmt-bre-tax exg-crim-terror exg-natl-bre-nat-law Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. All relevant mandatory and optional grounds for exclusion stipulated by national law apply. neg-w-call false PR1254078-3460-P 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) - PR1254078-3460-P 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) - PR1254078-3460-P 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) supplies 31712100 Reinraum - tbd nach Zuschlagserteilung & Absprache mit FhI Clean room - to be determined after contract award and consultation with FhI Dresden-Moritzburg 01468 DED2E DEU LOT-0000 slc-abil-ref-work Referenz von mindestens 10 Geräten / Projekten mit vergleichbarer technologi-scher Funktionalität im Hybridbond Be-reich nicht älter als 5 Jahre (Kurzbeschreibung Gerät, Pflichtangabe 300mm Wafergröße ja/nein, Kundennennung). Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Kunden nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber) und be-stätigen Sie, dass Ihre Referenzen mit der ausgeschriebenen Leistung vergleichbar sind. *** ACHTUNG *** Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürften, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftragsgeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftragsgeber) und bestätigen Sie, dass Ihre Referenzen mit der ausgeschriebenen Leistung vergleichbar sind. References for at least 10 devices/projects with comparable technological functionality in the hybrid bonding sector, not more than 5 years old (brief description of the device, mandatory specification of whether 300mm wafer size is applicable, and naming of the client). If, for data protection reasons, you are not permitted to name your clients, please categorise your client (research, industry, other public sector clients) and confirm that your references are comparable to the service specified in the tender. *** ATTENTION *** If you are not permitted to name your contacts for data protection reasons, please categorise your client (research, industry, other public clients) and confirm that your references are comparable to the service advertised. slc-abil-staff-yrly-avg-mp Darstellung der Firma: Mindestangaben: Gründungsjahr, wichtige Meilensteine des Unternehmens, Anzahl der Mitarbeiter, was wird hergestellt / welche Leistungen werden erbracht -> Alle Angaben bitte in Textform; KEINE Links oder Bilder. Company profile: Minimum information: Year of establishment, important milestones in the company's history, number of employees, what is manufactured/what services are provided -> Please provide all information in text form; NO links or images. slc-stand-other 1. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 GWB 2. Eigenerklärung-Selfdeclaration (EU) Nr. 833/2014 1. Self-declaration regarding the absence of grounds for exclusion pursuant to Sections 123 and 124 of the German Act against Restraints of Competition (GWB) 2. Self-declaration (EU) No. 833/2014 slc-stand-ratio Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre. Hinweis: Dieses Kriterium ist NICHT das einzige Eignungskriterium. Die vollständigen Eignungskriterien finden Sie hier -> "2.1.4 Allgemeine Informationen" Turnover of the last 3 financial years. Note: This criterion is NOT the only suitability criterion. You can find the complete suitability criteria here -> "2.1.4 General information" false false not-allowed eu-funds not-requ false allowed DEU TenderDoc non-restricted-document https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-19facb36955-72ae1a93cc2c3b07 epo-notice epo-procurement-document late-all Siehe Vergabeunterlagen See procurement documents none no performance Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen. In the event that subcontractors are used, they must be named and their suitability is likewise to be substantiated on the basis of the listed documents under "Tendering terms". Furthermore, it must be confirmed that they will be available if the order is placed; their share in the scope of the contractual object must be stated. allowed not-allowed false per-exa 65.00 quality Technische Ausführung Technical Specification Technische Ausführung Technical Specification per-exa 35.00 price Preis Price Bewertet wird der Gesamtpreis inkl. aller Nebenkosten über die Laufzeit The total price, including all ancillary costs over the term, is assessed ORG-7001 https://vergabe.fraunhofer.de Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB). Applications for review are not permitted if more than 15 calendar days have passed since receipt of notification from the contracting authority that it is unwilling to redress an objection (section 160 (3) sentence 1 no. 4 of the German Competition Act (Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen, GWB)). Additionally, applications for review are not permitted if an award has been made before the public procurement tribunal has informed the contracting authority about the application for review (sections 168 (2) sentence 1 and 169 (1) GWB). Contracts may be awarded 15 calendar days after the tenderer information pursuant to section 134 (1) GWB has been sent. If the information is sent electronically or by fax, the period shall be reduced to ten calendar days (section 134 (2) GWB). The period shall begin on the day after which the contracting authority sends the information; the date of receipt by the tenderer and candidate in question shall be irrelevant. The admissibility of a review application also requires that the applicant notified the contracting authority about the claimed violations of public procurement provisions within ten calendar days of becoming aware of them (section 160 (3) sentence 1 no. 1 GWB). Violations of public procurement provisions which become apparent from the tender notice must be notified to the contracting authority by the end of the time limit for the application or the submission of a tender specified in the notice (section 160 (3) sentence 1 no. 2 GWB). Violations of public procurement provisions which only become apparent from the procurement documents must be notified to the contracting authority by the end of the time limit for the application or the submission of a tender (section 160 (3) sentence 1 no. 3 GWB). ORG-7005 ORG-7004 DEU false false allowed false true 2026-10-02+02:00 2026-09-01+02:00 08:00:00+02:00 false 3 false none none LOT-0000 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) - PR1254078-3460-P 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) - PR1254078-3460-P 1x 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) Der Zweck dieser Gerätespezifikation besteht darin, die Anforderungen für das automatisierte D2W-Bonding zur heterogenen 2,5D-/3D-QMI- und Chiplet-Integration zu definieren, das eine Verbindung mit einer Genauigkeit von +/- 200 nm auf einem 300-mm-Wafer ermöglicht. Diese Anlage ist in der Lage, folgende Prozessschritte auszuführen: 1) Automatisches Be- und Entladen der gewünschten Wafer aus einer 12-Zoll-Tape-Frame-Kassette und von 12-Zoll-Wafern aus einem Wafer-FOUP; 2) Auslesen der Wafer- und Tape-Frame-ID; 3) Automatisches Zuführen von Wafern auf den Spannfutter und von Tape-Frames in die Bond-Einheit; 4) Aufnehmen von Dies (Bauteilen) aus dem Tape-Frame, optionales Wenden und präzises Bonden auf den Wafer oder das Die. Die Programmierung und Bedienung muss innerhalb eines angemessenen Bereichs von Optionen und Parametern möglich sein, wie es für Forschung und Entwicklung erforderlich ist. Detaillierte Spezifikationen der einzelnen Module finden Sie weiter unten. 1x 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) The purpose of this equipment specification is to define the requirements for the automated D2W bonding for 2.5D / 3D heterogeneous QMI and chiplet integration, capable to interconnect with +/- 200nm accuracy on 300mm wafer. This equipment is capable of following process steps: 1) Automated Loading and Unloading of desired wafers from 12" Tape Frame Cassette and 12" wafers from Wafer FOUP; 2) Wafer and Tape-Frame ID-Readout; 3) Automated Feeding of Wafers onto chuck and Tape-Frame into bonding unit; 4) Pick-up of dies (components) from tape frame, optional flip, and precise bonding onto wafer or die. The programming and operating must be possible within an appropriate range of options and parameters as required for R&D. Detailed specification of each module can be found below. supplies false none 31712100 Reinraum - tbd nach Zuschlagserteilung & Absprache mit FhI Clean room - to be determined after contract award and consultation with FhI Dresden-Moritzburg 01468 DED2E DEU 60