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							<cbc:Title languageID="DEU">CMP Anlage</cbc:Title>
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				<cbc:Description languageID="DEU">Statthafte Rechtsbehelfe sind gem. §§ 160 ff. GWB die Rüge sowie der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens vor der zuständigen Vergabekammer. Eine Rüge ist an die Vergabestelle zu richten. Eine Rüge bzw. der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens ist unzulässig, soweit - der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden oder - mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.</cbc:Description>
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		<cbc:Name languageID="DEU">CMP Anlage</cbc:Name>
		<cbc:Description languageID="DEU">Anlage zum Planarisieren und Glätten von Oberflächen mittels chemisch-mechanischem Polieren (CMP, chemical mechanical polishing) zur Prozessierung von bis zu 6 Zoll großen Substraten</cbc:Description>
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			<cbc:Description languageID="DEU">Universität Siegen Graphen-basierte Nanotechnologie  Adolf-Reichwein-Straße 28 (INCYTE) 57076 Siegen</cbc:Description>
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						<cbc:AwardingCriterionTypeCode listName="award-criterion-type">quality</cbc:AwardingCriterionTypeCode>
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						<cbc:AwardingCriterionTypeCode listName="award-criterion-type">price</cbc:AwardingCriterionTypeCode>
						<cbc:Description languageID="DEU">Der Bieter mit dem günstigsten Preis erhält in der Kategorie Preis die maximale Punktzahl und dieser dient als Referenzwert für die weitere Bewertung.  Die anderen Angebote werden im Verhältnis hierzu prozentual abgestuft. Angebote, die den zur Verfügung stehenden Budgetrahmen von 407.000,01 EUR (=brutto) inklusive aller Kosten, wie z.B. Trasport-, Importkosten, ggfls. ausländischer und inländischer Steuern im Falle eines Reverse-Charge-Verfahrens   übersteigen, werden mit null Punkten gewertet und sind zwingend auszuschließen.  Preispunkte von Angebot i=(P_min/P_i ) L_max  Pmin = Der niedrigste Preis aller wertbaren Angebote (Referenzwert) Pi = Der Preis des aktuell zu bewertenden Angebots Lmax = Die maximal erreichbare Punktzahl (hier: 750 Punkte)</cbc:Description>
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					<cbc:ID>ORG-0001</cbc:ID>
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			</cac:AdditionalInformationParty>
			<cac:AppealTerms>
				<cac:PresentationPeriod>
					<cbc:Description languageID="DEU">Statthafte Rechtsbehelfe sind gem. §§ 160 ff. GWB die Rüge sowie der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens vor der zuständigen Vergabekammer. Eine Rüge ist an die Vergabestelle zu richten. Eine Rüge bzw. der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens ist unzulässig, soweit - der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden oder - mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.</cbc:Description>
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		<cac:ProcurementProject>
			<cbc:ID schemeName="internalID">04-WIS26E1OV-EP</cbc:ID>
			<cbc:Name languageID="DEU">CMP Anlage</cbc:Name>
			<cbc:Description languageID="DEU">Beschafft wird eine Anlage zum Planarisieren und Glätten von Oberflächen mittels chemisch-mechanischem Polieren (CMP, chemical mechanical polishing) zur Prozessierung von bis zu 6 Zoll großen Substraten. Das Gerät ist als integraler Bestandteil des halbleitertechnologischen Reinraums des Forschungsgebäudes INCYTE der Naturwissenschaftlich-Technischen Fakultät der Universität Siegen vorgesehen. Es dient in den universitären Forschungsschwerpunkten der Sensorik sowie der Materialwissenschaften als zentraler Reinraum-Gerätebestandteil zur Planarisierung und Glättung unterschiedlichster Substrate oder Proben, wobei überwiegend im Halbleiterbereich gebräuchliche Substrate adressiert werden sollen. Die Anlage steht den universitären Forschungszentren, dem Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cµ), dem Center for Innovative Materials (Cm), dem DFG-geförderten Mikro- und Nanoanalytikzentrum MNaF und der biomedizinischen Sensorforschung, wie auch externen Kooperationspartnern zur Verfügung. Zudem soll die Planarisierungsanlage zentral allen Forschern und Kooperationspartnern der Universität Siegen zur Verfügung stehen.  Das Projektbudget der Hochschule beträgt maximal 407.000,00 EUR brutto. Dieser Betrag umfasst sämtliche anfallenden Steuern und Kosten- einschließlich jener aus dem Reverse-Charge-Verfahren, welche die Universität Siegen direkt an das Finanzamt abführt. Soweit erforderlich, rechnet die Vergabestelle diese Steuerlast bei Angebotsauswertung dem Angebotspreis hinzu.  Angebote, die diese Obergrenze überschreiten, werden zwingend vom Vergabeverfahren ausgeschlossen.  Bitte beachten Sie: Auch wenn die Leistungsbeschreibung in englischer Sprache bereitgestellt wird, müssen sämtliche Vergabeunterlagen zwingend in deutscher Sprache ausgefüllt und eingereicht werden. Ausländische Bieter haben gleichwertige Nachweise ihrer zuständigen Heimatbehörden vorzulegen. Diese sind zusätzlich in einer deutschen Übersetzung beizufügen.</cbc:Description>
			<cbc:ProcurementTypeCode listName="contract-nature">supplies</cbc:ProcurementTypeCode>
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				<cbc:ProcurementTypeCode listName="strategic-procurement">none</cbc:ProcurementTypeCode>
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			<cac:MainCommodityClassification>
				<cbc:ItemClassificationCode listName="cpv">42990000</cbc:ItemClassificationCode>
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